HENSOLDT liefert zum ersten Mal neueste Generation von EUV-Hochpräzisionsmessgerät „Final Focus Metrology“ aus

1µm-FFM als optimierte Hochleistungsoptik für die Halbleiterindustrie.

Mit der vierten Generation liefert HENSOLDT die modernste Final Focus Metrology zur Herstellung von Microchips aus.

Der Sensorspezialist HENSOLDT hat zum ersten Mal die vierte Generation des Hochpräzisionsmessgeräts Final-Focus-Metrology (FFM) für die Halbleiterindustrie ausgeliefert. Kunde ist ein nicht näher genannter Hersteller von EUV-Litographiesystemen. Seit 2012 werden diese Kontrollsysteme bei HENSOLDT Optronics in Oberkochen produziert und kontinuierlich weiterentwickelt. Die erste Einheit der 1µm-FFM stellt mit Blick auf die Rolle von HENSOLDT auf dem zivilen Markt einen Meilenstein dar.

FFM ist ein hochpräzises Messgerät, welches Laser in zwei unterschiedlichen Wellenlängenbereichen, nämlich die Bereiche von einem und zehn Mikrometer, analysiert. Mittels speziell entwickelter Highspeed-Positionssensoren und eigens entwickelten Wellenfrontsensoren werden performancekritische Prozessparameter der Hochenergielasers, sowie Formen und Positionen von Zinn-Tröpfchen in einer Hochvakuumkammer bestimmt, die deutlich kleiner sind als ein menschliches Haar (< 30µm). Anhand der Daten, die durch die FFM ermittelt werden, wird in der Lithographieanlage der entscheidende Regelkreis geschlossen und die Performance und Treffsicherheit eines Laserstrahls, der die Zinn-Tröpfchen, die zur Herstellung des extrem-ultraviolettem (EUV)-Lichts in Zukunft dreimal, treffen muss, optimiert und so die Effizienz der Lichterzeugung und des gesamten Lithographiesystems entscheidend mit beeinflusst.

Die FFM fungiert dabei als die maßgebliche optoelektronische Kontrolleinheit, 50.000-mal pro Sekunde. Mit der 1µm-Technologieentwicklung von HENSOLDT kann die EUV-Lichtleistung auf ca. 400-600 Watt gesteigert werden. Ohne das EUV-Licht wäre die Herstellung der heute leistungsfähigsten Computerchips nicht möglich.

„HENSOLDT besitzt ausgezeichnete Fähigkeiten in Sachen Infrarot-Technologie. Täglich arbeiten wir mit Wärmebild-Technologie für Weltraum-Anwendungen, die eine maßgebliche Basis für die Entwicklung der FFM darstellen“, sagt Tanya Altmann, Leiterin der Division Optronics & Land Solutions. „Zu unserem erfolgreichen Zivilgeschäft trägt FFM einen maßgeblichen Teil bei.“

www.hensoldt.com

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